#6. 나노 구조체의 제조 방법, 이를 이용한 패턴의 제조 방법 및 이를 수행하는 제조 장치(METHOD OF MANUFACTURING NANO STRUCTURE, METHOD OF MANUFACTURING A PATTERN USING THE METHOD AND DEVICE FOR PERFORMING THE METHOD)
[출원] 1020110094946
대한민국
#5. METHOD OF PATTERNING BLOCK COPOLYMER LAYER AND PATTERNED STRUCTURE