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    정해도
    Position 교수
    Current Department 부산대학교 공과대학 기계공학부
    프로필
    연구 성과
    논문[128]
    #128. X-ray Diffraction Analysis of Damaged Layer During Polishing of Silicon Carbide
    Journal Information 2022.11.02 · International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
    Identifier (DOI) https://doi.org/10.1007/s12541-022-00711-5
    #127. Effect of Slurry Film Thickness Variation according to Spray Range Using Ultrasonic Spray Nozzle on Material Removal Rate
    Journal Information 2022.9.01 · Journal of the Korean Society for Precision Engineering
    Identifier (DOI) https://doi.org/10.7736/jkspe.022.036
    프로시딩[1]
    #1. Tribological Effect of Abrasives on Material Removal in Oxide CMP(Surface and edge finishing)
    Journal Information 2005.10
    Identifier (DOI) https://doi.org/10.1299/jsmelem.2005.3.1205
    특허[13]
    #13. 비전도성 연마패드 사용이 가능한 전기화학적 웨이퍼 연마장치
    Identifier [등록] 1010220280000
    Patent Country 대한민국
    #12. 웨이퍼 세정장치의 브러쉬 교환시기 감시장치와 그것이 설치된 웨이퍼 세정장치
    Identifier [등록] 1011516510000
    Patent Country 대한민국
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