ResearchWho?
    • Profile Image
    김형준
    Position 교수
    Current Department 연세대학교(신촌) 공과대학 전기전자공학과
    프로필
    연구 성과
    논문[1]
    #1. Atomic-scale characterization of plasma-induced damage in plasma-enhanced atomic layer deposition
    Journal Information 2017 · APPLIED SURFACE SCIENCE
    발표[292]
    #292. Atomic Layer Deposition of Titanium Silicate for Multi-Patterning Process
    Organization IITC 2021
    Date 2022
    #291. Atomic Layer Deposition of Al2O3 on 2D MoS2 for Enhancing the Recovery rate of Gas Sensor
    Organization 16th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered & Molecular Systems (IEEE-NEMS 2021)
    Date 2022
    특허[40]
    #40. 수직 정렬된 실리콘 나노선 위에 산화아연을 증착하는 방법 및 광다이오드
    Patent Country 대한민국
    #39. 기능성 필터 및 그 제조방법
    Patent Country 대한민국
    팔로우 추천