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    안진호
    Position 교수
    Current Department 한양대학교(서울) 공과대학 신소재공학부
    프로필
    연구 성과
    논문[270]
    #270. Investigating the Degradation of EUV Transmittance of an EUV Pellicle Membrane
    Journal Information 2022.12.21 · Membranes
    Identifier (DOI) https://doi.org/10.3390/membranes13010005
    #269. Near-field infrared nanoscopic study of EUV- and e-beam-exposed hydrogen silsesquioxane photoresist
    Journal Information 2022.12.02 · Nano Convergence
    Identifier (DOI) https://doi.org/10.1186/s40580-022-00345-3
    특허[10]
    #10. EUV 리소그래피용 펠리클 제조 방법 및 그 제조 장치
    Identifier [출원] 10-2019-0105407
    Patent Country 대한민국
    #9. 위상 변위 마스크의 양불 검사 방법, 및 이를 위한 양불 검사 장치
    Identifier [출원] 10-2017-0054483
    Patent Country 대한민국
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